对照申请基本条件编写,包括研究领域、科研水平与学术业绩,承担课程教学情况(限300字)
主要从事微波等离子体技术、脉冲放电等离子体技术以及射频等离子体技术与装备的开发研究,通过电磁场模拟和等离子体模拟,结合等离子体诊断技术开发了具有自主知识产权的等离子体气相沉积自动化装置,并应用于企业的多晶硅膜的中试生产,成功开发出1-20kW系列高稳定度微波源并已用于多家重大企业的生产,并在此基础上研制了1-10kW系列微波等离子体装置。主持国家973课题1项、863项目1项、国家自然科学基金面上项目1项,其他纵向课题5项。发表科研论文260多篇,其中SCI收录53篇,授权发明专利14项,出版专著1部。获国家技术发明二等奖1项、国家科技进步二等奖1项、中国机械工业科学技术一等奖1项。讲授1门研究生课程和1门本科生课程。
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